我校许并社教授团队韩斌在Advanced Functional Materials 发表高水平研究论文

近日，我校前沿院材料原子·分子科学研究所许并社教授团队韩斌副教授在材料领域国际顶级期刊《先进功能材料》（Advanced Functional Materials，影响因子19.924）发表题为“Transparent and Reusable Nanostencil Lithography for Organic-Inorganic Hybrid Perovskite Nanodevices”（透明可重复使用纳米掩膜光刻技术用于有机-无机杂化钙钛矿纳米器件的制备）的高水平论文。韩斌副教授为该论文的第一作者兼通讯作者，陕西科技大学为第一通讯单位，香港城市大学为共同通讯单位。该论文的发表标志着我校在微纳器件研究方面的重大突破，极大地提高了我校在半导体材料及器件领域的国际影响力。

透明纳米掩膜光刻技术流程示意图及器件实例

有机-无机杂化钙钛矿因其卓越的光学特性而备受关注，可用于开发新型光电器件。然而，用于制备杂化钙钛矿器件的光刻技术仍面临巨大的挑战。这主要是因为杂化钙钛矿材料在丙酮、水等光刻溶剂中极易受到损坏，因此传统光刻技术无法与杂化钙钛矿材料兼容。韩斌副教授带领研究生刘博、王光辉、邱琪等人经过三年的努力，攻克了杂化钙钛矿纳米器件制造的难题，开发了一种与杂化钙钛矿完美兼容的新型聚焦离子束（FIB）辅助透明纳米掩膜光刻技术。该技术能够实现100纳米的超高光刻分辨率，并且可以实现精准的掩模板对准。此外，该掩膜版可以重复使用十多次，极大地降低了器件制造成本。该技术的开发将有助于杂化钙钛矿新型器件的开发以及器件的微型化和集成化。

新闻小贴士：

韩斌博士2017年毕业于日本东北大学金属材料研究所，2017-2019年在香港城市大学从事博士后工作。2019年以陕西科技大学“青年拔尖人才”引进我校，加盟许并社教授团队。韩斌博士主要依托陕西科技大学的微纳加工平台-聚焦离子束（JEOL JIB-4700F），开展新型半导体材料及其微纳器件的研究。

论文详细信息：Bin Han, Bo Liu, Guanghui Wang, Qi Qiu, Zhe Wang, Yuying Xi, Yanxia Cui, Shufang Ma, Bingshe Xu, and Hsien-Yi Hsu,“Transparent and Reusable Nanostencil Lithography for Organic-Inorganic Hybrid Perovskite Nanodevices”Advanced Functional Materials,2023, 2300570. (DOI:10.1002/adfm.202300570)

（核稿：强涛涛 编辑：刘倩）