近日，由我校等单位共同主办的第五届微制造、微机电系统和物联网国际研讨会在西安金花豪生国际大酒店举办，会议在线上进行同步直播。有“日本微机电系统之父”之称的日本立命馆大学杉山进教授、日本早稻田大学水野俊教授出席本次研讨会，我校机电工程学院李晨副教授、3名硕士研究生分别作了线下报告及英文会议报告，机电学院百余名研究生线上参加了本次研讨会。
本次研讨会由西安交通大学、陕西科技大学、微纳米制造与测试技术国际合作联合实验室主办。研讨会开幕式由西安交通大学前田龙太郎教授主持。他代表研讨会主办方对参会的各位专家学者和各界朋友表示热烈欢迎，对陕西科技大学、西安交通大学微机电系统研究团队的支持表示感谢，希望通过本次会议带来最新的微机电系统学术发展前沿，促进两校的交流与合作。
会议邀请了国际和国内著名专家学者作大会主题报告。杉山进作了《基于压阻效应的机械传感器研究路线》的线上报告，介绍了日本MEMS传感器的40年发展历史与前沿技术。水野俊作了《薄Pt中间层低温Cu-Cu键合技术》的线上报告，介绍了通过细化中间层薄Pt实现了Cu-Cu直接键合技术。西安交通大学机械工程学院方续东副教授作了《第三代半导体SiC材料在MEMS传感器的应用》的线下报告，介绍了基于SiC材料的MEMS传感器设计与制造工艺的最新进展。我校机电学院李晨副教授作了《飞秒激光在固体表面诱导周期性微纳结构的形成机理及应用进展》的线下报告，介绍了飞秒激光加工机理及其在生物医疗、微流控领域的研究进展。
会议还邀请了西安交通大学、陕西科技大学6名研究生作英文会议报告。我校机电学院2018级硕士研究生徐士浩、杨研伟、冯宇航分别做了微机电系统方向的英文学术报告。会场上，两所高校的研究生们对感兴趣的研究课题进行了深入的交流和积极的探讨。此次会议的举办，进一步促进了学校的国际科技交流与合作，对我校微机电系统方向综合水平的提升起到了重要的推动作用。
（核稿：夏祥林 编辑：刘倩）
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